Industrie aktuell

Messtechnik für die Erfassung von optischen Messgrößen

FRT0419Control Halle 7, Stand 7409

FRT präsentiert das Stand-alone Metrologiegerät „Microprof 200“ in der dritten Generation als ultrastabile Plattform: Die komplett hausinterne Steuer- und Analysesoftware und mehr als 20 Jahre Expertise in der Oberflächenmesstechnik bilden dafür die Basis. Das Multi-Sensor-Konzept, kombiniert mit der hybriden Messtechnik, unterstützt Produktionslinien auf der ganzen Welt. 

Der Microprof ermöglicht es vielfältige Messaufgaben schnell, effizient und intuitiv durchzuführen. Als etabliertes Standardmessgerät in der modernen 3D-Oberflächenmesstechnik findet es Einsatz in der Halbleiter-, Medizin- und Automobilindustrie. Aber auch in den Branchen Mems/Nano/MST, Saphir, Photovoltaik, Maschinenbau, Optik und Verpackungstechnik finden die Geräte Anwendung zur berührungslosen Messung von Topographie, Gesamtdicke oder Schichtdicke von Proben. Der Microprof kann aufgrund der optischen Multi-Sensor-Technologie universell eingesetzt werden. Verschiedene optische Messmethoden wurden zu einem universellen Gerät zusammengefasst. Je nach Anforderungen ermöglicht das Gerät eine schnelle Übersichtsmessung der gesamten Probe sowie hochaufgelöste Detailmessungen bis in den Sub-Nanometerbereich. Besondere Flexibilität schafft die offene Kombinierbarkeit der Sensoren. Bei Bedarf sind Sensoren schnell und einfach nachzurüsten.


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