Kugeldrehverbindung für die Vakuum Anwendung im Reinraum
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Die Antriebseinheit für eine spezielle Vakuumanwendung in der Halbleiterfertigung besteht aus einer innenverzahnten Edelstahl Kugeldrehverbindung mit den Maßen 1230 mm x 1091 mm x 27,5 mm inklusive Montageplatte und Antriebsritzel. Rodriguez liefert diese Baugruppe im Rahmen seiner kundenspezifischen Systemlösungen Value Added Products aus einer Hand.
Dank einer zweilagigen Reinraumverpackung erfüllt die Antriebseinheit die strengen Anforderungen der Halbleiterindustrie. „Das eingesetzte Sonderlager ist insofern besonders, weil es eigentlich etwas zu dünn ist für eine Kugeldrehverbindung. Das ergab sich das aus der filigranen Konstruktion der Maschine und der vom Kunden vorgegebenen Gewichtseinhaltung“, erläutert Ulrich Schroth, Geschäftsbereichsleiter Value Added Products bei Rodriguez.
Kleinstes, leichtes Drahtwälzlager mit profilierten Laufbahnen
„Die Drehverbindungen bestehen aus härtbarem, korrosionsbeständigem Edel Stahl 1.4034 und verfügt über gehärtete Zahnflanken, die erhöht vor Verschleiß schützen. Keramische Wälzkörper gestatten Minimalmengenschmierung mit einem speziellen Vakuumfett. Damit lässt sich die Lagereinheit im Ultrahochvakuum problemlos einbauen.“ Ein kundenspezifisches Lagerspiel erfüllt zudem die speziellen Anforderungen solcher Anwendungen.
Erste Reinraum Verpackung
Die kundenspezifische Drehverbindung wird in einer zweilagigen Reinraumverpackung geliefert. Rodriguez bringt hierfür eine erste Verpackung im Reinraum an. Anschließend erfolgt darüber eine zweite normale Verpackung. Das Auspacken der Kugeldrehverbindungen bei Anlieferung erfolgt in umgekehrter Reihenfolge.
Die oberste normale Verpackung wird entfernt und beim Kunden im Reinraum erfolgt die Entfernung der zweiten Verpackung. So wird sichergestellt, dass weder auftretende Verschmutzung noch Fremdkörper während des Transportes sich später negativ auf die Drehverbindungen in der Anwendung auswirken.
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