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Miniaturisierung, Nano, Ultraschall, Mikro, Photonik, Sensorik, Halbleiter, Chip, Elektronik, Reinraum

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rodriguez0416Kompakt und leichtgewichtig, dabei jedoch besonders leistungsfähig und präzise: Die Dünnringlager von Rodriguez bewähren sich mit diesen speziellen Eigenschaften unter anderem in der Halbleiterindustrie. Sie kommen unter anderem in Objektivblenden von fotolithografischen Systemen zum Einsatz:

Nachdem diese Blenden möglichst kompakt und flach konstruiert sein sollen, sind Dünnringlager hierfür die erste Wahl. Die leichtgewichtigen Lagertypen bieten einen kleinen Querschnitt, der auch bei steigendem Bohrungsdurchmesser gleichbleibt. Das Kaydon-Dünnringlagerspektrum von Rodriguez umfasst rund 250 Lagertypen mit der optimalen Lösung für jeden Anwendungsfall wie auch für die Präzisionsmechanik in den lithografischen Systemen zur Halbleiterfertigung.

„In der Halbleiterbranche gibt es aber noch viele weitere Anwendungsbeispiele für die Dünnringlager“, so Ulrich Schroth, Geschäftsbereichsleiter Value Added Products bei Rodriguez. „So liefern wir seit vielen Jahren Kaydon-Dünnringlager aus Edelstahl an einen Kunden, der diese in Single-Wafer-Systemen verbaut.“ Auf Basis der Dünnringlager entstehen aber auch komplette einbaufertige Baugruppen, die präzise auf die jeweilige Applikation zugeschnitten werden.

Diese kundenspezifischen Sonderlösungen fallen in den Geschäftsbereich „Value Added Products“, der zu den Kernkompetenzen des Unternehmens zählt. Hier erhalten Kunden nicht nur kundenspezifische Systemlösungen oder ganze Baugruppen in kleinsten Stückzahlen, sondern auch einen umfassenden Rundum-Service. „Auch hier gibt es ein Beispiel aus der Halbleitertechnologie: Eines unserer Komplettsysteme bewährt sich in vollautomatischen Hochgeschwindigkeits-Mess-Systemen für Wafer“, so Ulrich Schroth.
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