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Aktuelles aus der Mikrosystemtechnik

Miniaturisierung, Nano, Ultraschall, Mikro, Photonik, Sensorik, Halbleiter, Chip, Elektronik, Reinraum

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PI0613Physik Instrumente (PI) stellt die neue LPS-24-Serie vor. In den Abmessungen 24 × 33 × 20 mm kombinieren die Miniaturpositioniertische 15 mm Stellweg mit nanometergenauer Auflösung.Damit erfüllen sie wichtige Anforderungen für die Positionierung optischer oder mechanischer Komponenten oder für die Justage und Manipulation von Proben in Applikationsumgebungen, die nur einen begrenzten Bauraum zulassen.

Der Hersteller setzt in der LPS-24 Serie "Nexact"-Piezoschreitantriebe ein. Sie verbinden die Vorteile von Piezoaktoren hinsichtlich Auflösung und Steifigkeit mit langen Stellwegen. Die Positionsmessung erfolgt mit einem Linearencoder mit 150 nm Auflösung. Er ist in die kleine Bauform der Versteller integriert.
Mit dem Linearencoder "Pione" kann eine Auflösung von 2 nm erreicht werden mit einer Länge des Verstellers von 63 mm statt 33 mm.

Die Schreitantriebe bieten noch weitere Vorteile für die Positionierleistung der Miniaturtische: Der Stellweg kann mit einer einstellbaren und konstanten Geschwindigkeit durchfahren werden. Das Antriebsprinzip beruht auf einer definierten Aktorbewegung und ausschließlich auf Haftreibung während der Schreitbewegung der Piezoaktoren. Dies bewirkt eine deutliche Steigerung der Lebensdauer und Zuverlässigkeit der Antriebe.

Mit dem Controller E-861 lässt sich der Miniaturpositioniertisch einfach und präzise betreiben. Er unterstützt die Bewegungsarten des Piezoschreitantriebs und ist auf die Anforderungen der Mechanik abgestimmt. Aufgrund der Vernetzbarkeit lassen sich bis zu 16 Controller gleichzeitig über eine Computerschnittstelle ansteuern.


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