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Aktuelles aus der Mikrosystemtechnik

Miniaturisierung, Nano, Ultraschall, Mikro, Photonik, Sensorik, Halbleiter, Chip, Elektronik, Reinraum

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PI

Präzise Positionierung in sechs Achsen mit Genauigkeiten unter 1 µm bieten die parallelkinematischen Hexapod-Systeme von Physik Instrumente (PI). Der neue Miniatur-Hexapod M-810 benötigt dazu nur minimalen Bauraum. Bei einem Durchmesser von nur 10 cm und einer Höhe von 118 mm bietet er Stellwege bis zu 40 mm in der XY-Ebene und bis zu 13 mm in Z-Richtung. Die Positionsauflösung des Einzelbeins liegt durch die verwendeten hochgenauen bürstenlosen Spezial-DC-Motoren und die hochauflösenden Encoder bei nur 40 nm.

Das System positioniert zuverlässig Lasten bis 5 kg und erreicht dabei Geschwindigkeiten bis 10 mm/s. Wie der Hersteller erläutert, haben parallelkinematische Systeme einige Vorteile gegenüber gestapelten Mehrachspositionierern. So wirken alle sechs Aktoren auf eine gemeinsame Plattform, wodurch die bewegte Masse gering ist. Außerdem gibt es hier keine Addition von Führungsfehlern und Verkippungen einzelner Achsen. Der per Softwarebefehl frei definierbare Drehpunkt bleibt unabhängig von der Bewegung erhalten.


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