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vtd0512Mit den PVD-Beschichtungsanlagen der "Dreva"-Serie bietet VTD Vakuumtechnik Dresden Anlagen und Schichttechnologien, die nicht nur die aktuellen Industrieanforderungen erfüllen. Mit den VTD-Hartstoffbeschichtungsanlagen kann das gesamte Schichtspektrum Einzel-, Multi- und Gradientenschichten realisiert werden, vom traditionellen TiN bis zu den neuen DLC-Schichten. Brandneu präsentiert das Unternehmen jetzt die superharten "Ta-C Diamor"-Kohlenstoffschichten.

Durch eine kompatible Ausstattung der PVD-Anlagen mit Rund- oder Rechteckquellen sind die Verfahren ARC oder Magnetronsputtern möglich. Mit einer weiteren modularen Einheit, dem in enger Zusammenarbeit mit dem Fraunhofer IWS-Dresden entwickelten Laser-Arc-Modul (LAM), kommt jetzt das Beschichtungssystem Dreva 600 LAM für die Erzeugung von superharten, amorphen "Ta-C Diamor"-Kohlenstoffschichten auf den Markt.

Das moderne, modulare Bauprinzip der Dreva 600 ermöglicht das einfache Andocken des LAM als zusätzliche technologische Kernkomponente. Hier wird hochenergetisches Kohlenstoffplasma mittels gepulster Vakuumbogenverdampfung aus Graphit-Targets generiert. Die Bogenentladung wird durch einen Laserstrahl gezündet. Die Abscheidung einer Haftvermittlerschicht erfolgt im Arc- oder Sputterverfahren. Das Ergebnis sind superharte Ta-C-Schichten mit einer Härte von bis zu 60 GPa.

In Kombination mit einem sehr gutem Reibungsverhalten öffnen sich für die Ta-C Diamor- Schichten sehr gute Einsatzbedingungen im Bereich der Span- und Umformwerkzeuge sowie im Automobilbau, wo Reibungsminderung im Getriebebereich die Einsparung von Kraftstoff bedeutet. Weitere Einsatzmöglichkeiten finden sich beispielsweise in der Medizintechnik und im Formenbau. Durch einen zwischen dem LAM und der Dreva-Anlage integrierten Filter können darüber hinaus ultraglatte Ta-C-Schichten erzeugt werden.


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