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Donnerstag, Oktober 19, 2017
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2EMechatronic0312Sensor+Test Halle 12, Stand 132

Der thermische Membran-Strömungssensor von 2E Mechatronic wurde zur Messung kleinster Differenzdrücke konzipiert. Durch den Einsatz der MID-Technologie konnte eine deutliche Bauraumreduzierung erreicht werden. Gleichzeitig lässt sich der komplette Sensor wie ein SMD mit Standard-SMT-Automaten bestücken.

Die fluidischen Anschlüsse sind ebenfalls im MID integriert. Die elektrische Kontaktierung zwischen Chip und MID erfolgt durch Drahtbonden. Durch die in den Siliziumchip integrierten Fluidikkanäle wird eine hohe Präzision erreicht. Der modulare Aufbau ermöglicht variable Messbereiche von 0 bis 3 mbar bzw. 0 bis 15 mbar. Der Strömungssensor wurde in Zusammenarbeit mit dem HSG-IMIT, der MMA AG und der Firma Gruner AG entwickelt.


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