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Freitag, Dezember 15, 2017
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Aktuelles aus der Sensorik

Sensoren, Drehgeber, Näherungsschalter, Seilzug, induktiv, kapazitiv, inkremental

wiedemann0214Sensor + Test Halle 12, Stand 604

Die Dünnschichttechnik (DST) beherrscht seit langem das hochgenaue Aufbringen sehr dünner Ebenen aus verschiedensten Materialien. Bisher war diese Technologie aber den meisten Anwendern aufgrund der hohen Investitionen in Prozessentwicklung und Produktionsanlagen verschlossen - Sensor-Technik Wiedemann ändert das jetzt für die Sensorik.

Die Prozesse zur Herstellung dünnster Schichten sind auch Grundlagen der Halbleiterfertigung. Trotzdem ist das Potential der Dünnschichttechnik bei weitem noch nicht ausgenutzt. Weitere Anwendungen sind in erster Linie in der Sensorik denkbar. Dünnschichten reagieren empfindlich und reproduzierbar auf Kräfte, Verformung, Temperatur, Licht, chemische Substanzen usw. Bei geeignetem Design ist aber auch die Erfassung von Magnetfeldern und elektrischen Strömen mit einer räumlichen Auflösung von wenigen µm möglich.

Nickel, Chrom, Kupfer, SiO2, TiON, und NiCr sind nur einige der Materialien, mit denen Schichten bis 1,5 µm Stärke extrem haftend auf alle glatten Oberflächen aufgebracht werden können. Eine Strukturierung ab einer Breite von 10 µm ist dabei möglich. Eine der bisher kaum genutzten Optionen der DST ist die direkte Applikation auf anwendungsspezifische Verformungskörper. So haben Schichten auf 50 µm dünnen Blechen schon ein neues Verfahren zur magnetischen Positionsmessung ermöglicht.
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